概述

UT-1200A平台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主 动隔振性能(从0.5Hz开始)。UT-1200A平台通过消除，干扰测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜中获得更多信息。UT-1200A平台 采用了薄的机身和模块化设计，简化了安装过程，从而在安装时不需要大多数仪器安装专用的起重设备（这个方案适合大多数的EMs)。

产品特点 

- 主动减震范围 1 to 200 Hz (搭配LFS 系统由0.5Hz开始) 

- 被动减震模式 ≥200 Hz 

- 隔离来自六个自由度的振动

- 无低频共振 

- 压电传感器和驱动器 

- 内部反馈回路阻尼谐振

- 紧凑，模块化的设计

- 安装方便，无需持久维护 

- 安装后基本不改变显微镜的整体轮廓 

- 为每台电镜做适配

- And More!

热门应用 

Herz-UT-1200A平台应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的研究仪器。

Herz-UT-1000A平台常见的应用是电子显微镜，它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜。

相对于竞争者解决方案，Herz-UT-1200A平台的扁平化模块设计是有利的，因为它简化了安装过程，消除了频繁维护的必要。

Herz-UT-1200A 平台应用于

- SEMs & TEMs

- 真空扫描探针显微镜 (UHV-SPM)

- 光刻设备 

- 精度计量设备 

- 光谱测量设备

- And More!

性能 

传递率曲线图表示的是UT-1200A系列在频率内的隔振性能。

性能数据代表所有传递振动模式(空间六个自由度)，

性能- LFS System UT-1200A系列与LFS系统(低频传感器)配套使用，可提高其低频隔振性。

使平台能够隔离0.5 Hz开始的振动，并且可为现场现有系统进行改造。