HERZ减振台：六自由度全维度隔振，让精密测量更精准

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上传时间：2026-01-26

在精密测量与高端研发领域，环境的微小振动往往是影响数据准确性与设备性能的“隐形杀手”。尤其是在半导体制造、材料科学、生物医学等前沿行业，对实验环境的稳定性要求较高。如何有效隔离来自地面、设备内部及周边的振动干扰，成为提升测量精准度的关键。今天，我们要重点介绍的是HERZ减振台，其独特的六自由度全维度隔振技术，为超精密仪器提供了前所未有的稳定环境。

一、为何精密仪器需要专业减振？

许多高精尖设备，如扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、原子力显微镜（AFM）、白光干涉轮廓仪等，其分辨率可达纳米甚至亚纳米级别。即便是人无法感知的微小振动，也会导致成像模糊、测量数据漂移，严重影响科研结果与生产质量。传统的被动减振方式存在低频共振、响应慢等局限，难以满足顶尖设备的严苛要求。

二、什么是六自由度全维度隔振技术？

简单来说，空间振动来自六个方向：三个平移方向（上下、左右、前后）和三个旋转方向。普通减振系统可能仅针对部分方向进行抑制。而先进的减振台，如HERZ品牌的AVI系列，采用了创新的主动隔振技术，能够同时检测并动态抵消这六个自由度的振动输入。其核心在于内部的压电传感器和驱动器构成的反馈回路，可实时生成与干扰振动大小相等、方向相反的作用力，从而实现从源头上的全维度振动消除。

三、瑞士减振台的性能优势解析

以优尼康科技有限公司（翌颖科技)所代理的HERZ品牌为例，其HERZ减振台展现了多项性能数据：

宽隔振频率范围：主动隔振低至1Hz，甚至可搭配系统从0.5Hz开始，解决难以处理的地面低频振动问题。
卓越的隔振效果：在超过10Hz的频率范围内，振动传递率可低于-35dB，意味着超过97%的振动被有效隔离。
极快的响应与恢复：系统响应时间短至5-20毫秒，振动恢复时间小于10毫秒，确保设备在受到扰动后迅速回归稳定状态。
高负载与模块化设计：采用模块化构建，承重能力可通过增加模块灵活扩展，例如AVI-600系列最大承重可达9000磅，适配从桌面型轮廓仪到大型电镜的各种设备。

优尼康科技（翌颖科技）

四、在精密测量领域的核心应用场景

瑞士减振台的应用已覆盖几乎所有对振动敏感的精密仪器：

电子显微镜：为ZEISS等品牌的SEM、TEM提供支撑，显著提升高倍率成像的分辨率与稳定性。
光刻与计量设备：保障曝光机和各类高精度计量设备的定位精度。
表面形貌分析仪：为KLA Profilm3D白光干涉轮廓仪等设备创造理想测试环境，确保其实现次纳米级（如0.1nm重复性）的测量精度。
扫描探针显微镜：为AFM、UHV-SPM等提供稳定可靠的操作平台。

五、选择翌颖科技，获得完整解决方案

作为专注薄膜厚度与表面轮廓测量领域的专家，优尼康科技（翌颖科技）不仅提供Filmetrics膜厚仪、KLA轮廓仪等顶尖测量设备，更深刻理解配套环境的重要性。我们引进的HERZ 日本的减振台，正是为了构建从精准测量到稳定环境的一站式解决方案。公司拥有十余年行业经验的核心团队，能根据客户的特定仪器和场地条件，提供专业的评估、选型与集成服务。

我们建立了覆盖全国的服务网络，在上海、东莞、天津等地设有分支机构，确保快速响应。从需求沟通、方案定制到安装调试与售后支持，我们承诺提供专业、高效的服务保障。

结语

在追求极致精准的科学与工业前沿，细节决定成败。选择一款真正高效可靠的减振系统，是释放精密设备全部潜能的关键一步。HERZ减振台以其六自由度全维度主动隔振的硬核科技，为高端研发与质量控制筑起了坚实的“静音”基石。如果您正受困于振动干扰带来的测量波动，欢迎访问翌颖科技官网或致电，让我们为您量身打造稳定的精密测量环境。

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