UNICORN 庐山系列 LS-400 主动式防震台
UNICORN LS-400主动式防震台
—— 从0.5Hz开始主动隔振 · 专为大型电子显微镜及精密仪器打造 ——

UNICORN LS-400 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供从0.5Hz开始的主动隔振性能。UNICORN LS-400 主动式防震台广泛用于蔡司、莱卡、日立、日本电子等品牌的大型电子显微镜隔振,以及半导体设备、大型干涉仪、电子天平等精密设备隔振。LS-400主动式防震台通过抵消干扰测量破坏性的低频振动噪声,帮助用户从仪器中获得更多信息。
为什么您的电子显微镜需要主动式防震?
电子显微镜等大型精密仪器对环境振动极为敏感,特别是0.5-20Hz的低频振动——楼板共振、空调压缩机运行、人员走动、车辆经过等,会直接导致图像模糊、分辨率下降、测量数据失真。传统的被动空气隔振台在低频段存在固有共振峰,不仅无法有效隔离,反而可能放大振动。UNICORN LS-400采用主动反馈控制技术,从0.5Hz即开始提供有效隔离,从根本上消除了低频共振问题,为您的贵重电镜打造超静态工作环境,充分发挥仪器的极限性能。
UNICORN LS-400核心优势一览:
超低频起始隔振 | 6自由度全模式控制 |
零低频共振 | 压电传感器+驱动器 |
紧凑模块化设计 | 专为电镜定制 |
UNICORN LS-400主动防震工作原理:
UNICORN LS-400 主动式防震台通过高灵敏度压电传感器实时监测外部振动信号,并将数据传输至高速数字控制器。控制器根据振动波形瞬时计算出所需的反向补偿力,驱动压电执行器产生与振动相位精确相反的力,实现动态实时抵消,大幅度抑制低频振动及复杂环境干扰。系统结合被动隔振与主动控制技术——被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动进行准确补偿,实现全频段隔振。采用6自由度控制,自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递,确保在任何环境下始终保持最佳隔振效果。
技术亮点深度解析:
l 从0.5Hz开始的超低频隔振:LS-400在0.5Hz即开始提供有效隔振,1Hz时隔振率达90%,5Hz达97%,10Hz达99%,最大隔振率99.8% at 70Hz,性能远超传统被动方案。
l 零低频共振设计:LS-400系统具有固有高刚度特性,从根本上消除了传统被动空气隔振台在1-3Hz频段的共振放大问题,确保低频段同样具备优异的振动衰减能力。
l 压电传感与驱动技术:采用高灵敏度压电加速度传感器与压电换能器执行器,响应速度快、控制精度高,可检测并抵消微小的环境振动。
l 内部反馈回路阻尼谐振:内置反馈控制回路,实时监测并主动抑制系统内部谐振,确保隔振效果的纯净与稳定。
l 专为大型电镜定制:为每台电子显微镜做单一定制设计,安装后基本不改变显微镜的整体轮廓,完美适配蔡司、莱卡、日立、日本电子等主流品牌。
用户友好、操作便捷的设计:
l 主动隔振范围1~200Hz,被动隔振模式≥200Hz,全频段覆盖
l 紧凑模块化设计,安装方便,无需长期维护
l 安装后基本不改变显微镜的整体轮廓,不影响原有操作与布局
l 为每台电镜做单一定制,提供专属隔振解决方案
UNICORN LS-400典型行业应用:
UNICORN LS-400 主动式防震台广泛地应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器,最常见的应用是电子显微镜(支持扫描电子显微镜SEM和透射电子显微镜TEM):
光刻设备 | 光谱测量设备 | 高精度计量设备 | 透射电镜(TEM) |
扫描电镜(SEM) | 超高真空扫描探针显微镜 | 电子束光刻(EBL) | 扫描隧道显微镜(STM) |
大型干涉仪 | 电子天平/微量天平 | 半导体检测设备 | 更多精密装置... |
以上仅列举部分典型应用,LS-400适用于任何对低频振动敏感的大型精密仪器。如需确认您的设备兼容性,欢迎联系我们的技术团队。
UNICORN LS-400详细技术参数:
参数项目 | 规格详情 |
谐振频率 | None(无低频共振) |
主动隔振范围 | 1 ~ 200 Hz |
被动隔振范围 | ≥ 200 Hz |
隔振率(1Hz) | 90% |
隔振率(5Hz) | 97% |
隔振率(10Hz) | 99% |
最大隔振率 | 99.8% at 70Hz |
控制自由度 | 6自由度(3平移 + 3旋转)全模式主动控制 |
传感器/执行器 | 压电传感器 + 压电驱动器 |
低频共振 | 无 |
设计特点 | 紧凑模块化设计 · 安装方便 · 无需长期维护 · 专为电镜定制 |
品牌适配 | 蔡司、莱卡、日立、日本电子等主流电镜品牌 |
更多参数 | 定制化需求及完整参数请咨询销售工程师 |
UNICORN LS-400产品实机图:


UNICORN LS-400 主动式防震台模块展示 · 专为大型电镜定制 · 紧凑模块化设计
选择UNICORN LS-400,您将获得:
电镜成像质量质的飞跃 —— 消除低频振动模糊,获得清晰锐利的原子级分辨率图像
测量精度显著提升 —— 消除环境微振动干扰,充分发挥精密仪器的性能极限
实验重复性大幅改善 —— 稳定的力学环境确保每次测量在相同基准下进行
即装即用,无需改造 —— 紧凑模块化设计,安装后基本不改变显微镜整体轮廓
长期稳定可靠 —— 无需长期维护,源自UNICORN的精密制造工艺,久经全球顶尖实验室验证
常见问题快速解答:
Q:LS-400与传统的被动空气隔振台有什么区别?
A:传统的被动空气隔振台在低频段(通常1-3Hz)存在固有共振峰,会放大而非衰减振动。LS-400采用主动控制技术,从0.5Hz即开始有效隔振,1Hz隔振率达90%,且不存在低频共振问题,性能远超被动方案,特别适合对低频振动极其敏感的电子显微镜。
Q:LS-400支持哪些品牌的电子显微镜?
A:LS-400广泛用于蔡司(Zeiss)、莱卡(Leica)、日立(Hitachi)、日本电子(JEOL)等品牌的大型电子显微镜隔振。我们为每台电镜做单一定制,确保完美适配。
Q:LS-400安装后会改变显微镜的外观轮廓吗?
A:基本不会。LS-400采用紧凑模块化设计,为每台电镜做单一定制,安装后基本不改变显微镜的整体轮廓,不影响原有操作与布局。
Q:LS-400需要定期维护吗?
A:不需要。LS-400采用压电传感器和执行器,无磨损部件,无需长期维护,安装后即可长期稳定运行。
UNICORN · 主动隔振技术先锋 | 大型电镜隔振解决方案专家
谐震频率: | None | 隔离起点 | 1Hz |
隔震率2.0Hz: | 90% | 隔震率5Hz: | 97% |
隔震率10Hz: | 99% | 最大隔震率: | 99.8%at70Hz |
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