Herz TS-140 桌面型主动式减振台
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台
—— 源自日本马自达集团HERZ株式会社 · 更大台面 · 灵活适配 ——
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台，源自日本马自达集团旗下全资子公司HERZ株式会社，是一款专为满足更大工作空间需求而设计的灵活型主动隔振系统。TS-140在传承HERZ先进的主动反馈控制技术基础上，提供了500×600mm的宽敞台面，能够轻松承载和布局大型或异形精密仪器，如透射电镜（TEM）、光刻机等。系统通过高灵敏度压电加速度传感器实时捕捉环境振动，控制器在毫秒级内生成反向补偿信号，驱动执行器施加与振动相位精确相反的抵消力，实现从0.7Hz到1kHz的全频段卓越隔振性能，10Hz以上衰减超过40dB（透射率＜0.01）。TS-140完全消除了被动方案在低频段（1-3Hz）的共振放大问题，性能卓越。其优化的结构设计（高度84mm，自重28.5kg）在保证稳定性的同时，最大负载能力达140kg，是大型精密设备隔振的理想选择。
为什么您的精密仪器需要主动式隔振？
实验室中0.5-20Hz的低频振动（楼板共振、设备运转、环境噪声）是制约高精度测量与成像的核心瓶颈。传统被动隔振台在此频段存在固有共振峰，不仅无法隔离，反而会放大振动。HERZ TS-140采用主动控制技术从根本上消除了这一缺陷，从0.7Hz即开始有效隔离，在10Hz以上提供超过40dB的衰减（透射率＜0.01），为您的贵重仪器打造超静态工作环境，确保测量数据的真实性与重复性。
HERZ TS-140核心优势一览：
宽敞实用台面 | 6自由度全模式控制 |
即插即用 · 自动调平 | 智能状态显示 |
灵活孔位定制 | 可选增重升级 |
HERZ TS-140主动隔振工作原理：
HERZ TS-140采用主动反馈控制与前馈补偿相结合的双重隔振策略。系统内置高灵敏度压电加速度传感器，实时监测来自地基的多方向振动信号，并将数据传输至高速数字控制器。控制器通过专有算法分析振动波形，瞬时计算出所需的反向补偿力，驱动压电换能器（执行器）产生与振动相位精确相反的抵消力，实现振动的动态实时抵消。同时，系统持续监测地基振动进行自适应前馈调节，确保在不同环境下始终保持最佳隔振效果。在300Hz以上的高频段，系统转入被动隔振模式，利用台面阻尼铝夹层结构吸收高频振动能量，从而真正实现全频段无死角隔振覆盖。
技术亮点深度解析：
l 零低频共振设计：TS-140系统具有固有高刚度特性，从根本上消除了传统被动空气隔振台在1-3Hz频段的共振放大问题，确保低频段同样具备优异的振动衰减能力。
l 研究级压电传感技术：采用高灵敏度压电加速度传感器与压电换能器执行器，响应速度快，控制精度高，可检测并抵消微小的环境振动。
l 智能负载适应与自动锁定：精密的自动高度调节机制，负载变化后自动恢复至标称工作高度。搬运时自动锁定功能保护内部机构，安全可靠。
l 阻尼铝夹层台面：台面采用特殊阻尼铝夹层结构，兼具轻量化与高阻尼特性，可有效抑制台面自身的高频共振。
l 诊断监测功能：提供多路复用监测信号输出（BNC接口），可通过示波器直观对比有/无隔振状态下的振动水平，便于用户评估隔振效果及环境振动状况。
用户友好、操作便捷的设计：
l TS-140提供500×600mm宽敞台面，适合布局大型或异形设备，空间充裕
l TS-140整机高度仅84毫米，自重28.5千克，结构稳固且易于部署
l 台面支持M6螺纹孔阵（25mm间距）或按需定制（如铁磁不锈钢410表面），仪器安装灵活可靠
l 低功耗设计，正常工作时功耗仅10W，负载调节期间最大20W，节能环保
HERZ TS-140典型行业应用：
TS-140凭借其更大的台面与卓越隔振性能，成为众多需要宽阔工作空间的高端应用场景的理想选择：
透射电镜（TEM） | 光刻机/掩模对准器 | 大型SPM/AFM | 激光干涉仪 |
扫描电镜（SEM） | 激光共聚焦显微镜 | 半导体检测设备 | 大型电子天平 |
硬盘制造/检测装置 | 微操作/微装配系统 | 光学对准/耦合系统 | 摩擦学/纳米压痕测试 |
以上仅列举部分典型应用，TS-140适用于任何对振动敏感且需要较大工作空间的精密仪器。如需确认您的设备兼容性，欢迎联系我们的技术团队。
如何选择：HERZ TS-140 与 TS-150 对比
TS-140与TS-150共享相同的核心隔振技术——0.7Hz起始的6自由度主动隔振、10Hz以上优于-40dB的衰减性能。两者的主要差异在于台面尺寸与负载能力，您可根据仪器实际需求进行选择：
对比项目 | HERZ TS-140 | HERZ TS-150 |
定位 | 大台面 · 灵活适配 | 紧凑型 · 标准负载 |
台面尺寸（宽×深） | 500 × 600 mm | 400 × 450 mm |
整机尺寸（含高度） | 500×600×84 mm | 400×450×78 mm |
最大负载能力 | 140 kg（可选升级至180kg） | 150 kg |
系统自重 | 约28.5 kg | 约17.5 kg |
典型应用场景 | TEM、光刻机、大型AFM、半导体设备 | SPM、AFM、激光干涉仪、小型SEM |
核心隔振技术 | 相同：0.7Hz起始 · 6自由度主动控制 · 10Hz以上＜-40dB | |
选型建议 | 优先考虑：设备较大、需要宽敞台面布局，或未来有升级增重需求的用户 | 优先考虑：台面空间有限、追求极致轻便与紧凑的用户 |
* TS-140+40升级型号可将负载能力提高至180kg，具体请咨询销售工程师。
HERZ TS-140详细技术参数：
参数项目 | 规格详情 |
主动隔振范围 | 0.7 - 300 Hz（主动隔振）；300Hz以上被动隔振 |
负载范围 | 0 - 140 kg（建议在最大负载能力80%范围内使用以保证性能） |
台面尺寸（宽×深） | 500 × 600 mm |
整机尺寸（含高度） | 500 × 600 × 84 mm（宽×深×高） |
系统自重 | 约29 kg |
隔振性能（透射率） | 10Hz以上透射率＜0.01（-40dB） |
校正力 | 垂直方向 ±8 N，水平方向 ±4 N |
静态顺应性 | 垂直方向约12 µm/N，水平方向约30-40 µm/N |
控制自由度 | 6自由度（3平移 + 3旋转）全模式主动控制 |
台面材质与选项 | 阻尼铝夹层结构；可选配M6螺纹孔阵（25mm间距）或定制铁磁不锈钢表面 |
安全等级 | 1级 |
功耗 | 正常工作最大10W，负载调节期间最大20W |
输入电压 | 90-240V AC ±10%，43-60Hz（全球通用） |
过载保护 | 负载过重或严重失衡时前面板自动提示警告 |
前面板/LCD显示 | 高度调节状态、隔离开关状态、过载提示、运输锁定、振动水平 |
监测信号输出 | 多路复用BNC信号输出，可通过示波器观察8轴振动状态（诊断用） |
HERZ TS-140产品效果图：
HERZ TS-140 桌上型主动式隔振台实物展示 · 更大台面 · 稳定可靠
选择HERZ TS-140，您将获得：
充裕的仪器布局空间 —— 500×600mm台面轻松承载大型设备或复杂光路系统
测量精度与成像质量显著提升 —— 消除环境微振动干扰，获得清晰锐利的图像
实验重复性大幅改善 —— 稳定的力学环境确保每次测量在相同基准下进行
即装即用，灵活部署 —— 开箱即用，直接放置于现有实验台，无需专业安装
长期稳定可靠 —— 源自日本马自达集团的精密制造工艺，久经全球顶尖实验室验证
常见问题快速解答：
Q：TS-140与TS-150的主要区别是什么？如何选择？
A：两者的核心隔振技术相同，主要区别在于台面尺寸和负载能力。TS-140提供500×600mm的更大台面，适合布局大型仪器（如TEM、光刻机），最大负载140kg，并可升级至180kg；TS-150台面为400×450mm，更紧凑轻便（自重17.5kg），最大负载150kg。建议根据仪器尺寸和空间需求选择。
Q：TS-140支持仪器固定安装吗？
A：完全可以。TS-140台面为标准阻尼铝夹层结构，可选配25mm间距M6螺纹孔阵（型号后缀/TP25），也支持根据您的仪器底脚布局定制孔位，包括铁磁不锈钢410表面材质选项，确保设备安全稳固安装。
Q：TS-140的隔振效果如何评估？
A：您可以通过前面板LCD显示屏实时观察振动水平与隔振状态。此外，后面板提供多路复用BNC监测信号输出，连接示波器即可直观对比有/无隔振状态下的振动波形，便于量化评估隔振效果。
Q：TS-140的安装和操作复杂吗？
A：非常简单。TS-140开箱后直接放置在实验台上，接通电源即可开始工作。前面板提供清晰的状态显示，遥控器可便捷切换隔振开关，无需专业培训即可上手操作。
HERZ · 日本马自达集团旗下品牌 | 精密仪器隔振解决方案全球供应商
频率 | 0.7-1000Hz |
负载范围 | 0-140kg |
尺寸 | 500 x 600 x 84mm |
隔离： | 动态0.7Hz至1kHz，1kHz以上为被动隔离 |
透射率： | 参见附图曲线 10Hz以上透射率<0.01（-40dB） |
校正力： | 垂直方向±8N，水平方向±4 N |
静态顺应性： | 垂直方向约12 µm/N，水平方向约30-40 µm/N |
最大负载： | 140 kg |
尺寸： | 500 x 600 x 84 mm |
重量： | 28.5 kg |
电气 | |
安全等级： | 1级 |
功耗： | 最大10W 负载调节期间20W |
输入电压： | 115-230V交流电 ±10% 50-60Hz |
过载保护： | 当负载过重或严重失衡时显示屏提示 |
监测信号： | 多路复用信号通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平——仅用于诊断 |
前面板显示菜单：
| 显示仪器状态包括： - 高度调节 - 隔离开关状态 - 过载提示 - 运输锁定 - 技术热线 |
台面 | |
尺寸： | 500 x 600 毫米 |
材质：
| 阻尼铝夹层结构 可选配25毫米间距M6螺纹孔 或定制规格 |
